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LMX2E
 
特徵與應用
 
特徵   應用
   
直線度可達10um
X軸最大6m Y軸0.5m行程
以線性滑軌架構之定位平台
良好接地設計防止雜訊干擾
Z向震動可達奈米等級以下
最大速度可達5m/s
標準重現精度1um或以下
位置回饋系統解析度最低可達50nm
 半導體設備
自動化搬送
FPD設備
太陽能製造設備
PCB設備
水刀設備
鑽石切割產業
AOI檢測設備
工具機
   
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